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產品詳情
1、保持設備或Fore-line清潔度和真空度.因Pump狀態和作業等可能引起的污染，必要時進行隔離
2. Process以外設備或Fore-line作業時，防止Pump過載或污染
3、Pump Trip時快速關閉,防止或較小化Back stream & Contaminationsource逆流
4、保護Chamber和Wafer免受ParticIe等污染
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1、保持設備或Fore-line清潔度和真空度.因Pump狀態和作業等可能引起的污染，必要時進行隔離
2. Process以外設備或Fore-line作業時，防止Pump過載或污染
3、Pump Trip時快速關閉,防止或較小化Back stream & Contaminationsource逆流
4、保護Chamber和Wafer免受ParticIe等污染
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公司簡介
無錫永井電子有限公司成立于2015年，秉承“用技術與服務助力客戶發展”的使命，專注于半導體領域高質設備的研發、生產、銷售和技術服務。公司以“創新，品質，服務”為宗旨，致力打造半導體設備解決方案以及定制化的整體解決方案;我們擁有多年服務業界的豐富經驗，專業的售后服務團隊，提供全方位技術服務，如安裝、應用培訓、維修、保養等技術服務與指導。
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